תכונות חשמליות של שכבות מתכתיות דקות ואיפיונן. מגע מתכת/מוליך למחצה - תכונות חשמליות.
שיטות לקביעת גובה מחסום שוטקי. שיטות לאיפיון מגעים אוהמיים.
אינטראקצית מתכת - סיליקון, יצירת סיליסיידים. מגעים אוהמיים בהתקנים.
מטליזצית שער ( gate metallization ) בהתקני mos. טכנולוגית אלומיניום:
liner/barrier, plug filling, סגסוגות al. טכנולוגית נחושת: filling, barrier/seed,
damascene. low k, s:20 intermetal dielectrics.